Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос относится к классу механических насосов с большим расходом, способных откачивать до сверхвысокого вакуума (< 100 нПа). Работа турбомолекулярного насоса основана на принципе импульсной передачи молекулам газа на высокой скорости вращения ротора. Насос состоит из следующих основных узлов: ротора, статора, корпуса, электродвигателя и подшипников. Ротор представляет собой диск с рядом ловушечных канавок на периферии, выполненных под определенным углом к плоскости ротора. Ловушечные канавки чередуются с рядами лопастей, образующими рабочие каналы. Статор является неподвижной частью и состоит из обоймы с набором рабочих каналов, соединенных с входным и выходным патрубками. Рабочие каналы статора формируются между лопастями и внутренней поверхностью корпуса. При вращении ротора высокой скорости (до 90 000 об/мин), молекулы газа попадают в рабочие каналы между лопатками ротора и статора. Лопатки ротора, вращаясь, выталкивают молекулы газа в направлении выходного отверстия. Турбомолекулярные насосы характеризуются следующими преимуществами:

• Высокий расход и низкое конечное давление
• Возможность работы в чистых средах
• Отсутствие уплотнений, что обеспечивает герметичность
• Низкий уровень шума и вибрации
• Длительный срок службы и высокая надежность